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本发明公开了一种动态互补晶圆的缺陷扫描方法及系统，属于晶圆选片缺陷扫描技术领域，步骤包括：步骤a，建立缺陷扫描站点；步骤b，选取第一个过站产品中的固定两片晶圆，并且选取固定两片晶圆的邻近两片晶圆，进行缺陷扫描；步骤c，选取第二个过站产品中的...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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