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凸块制造工艺及其结构制造技术
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文档序号:8191720
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本发明有关一种凸块制造工艺及其结构。其中制造工艺包括:提供一基板;形成一含铜金属层于该基板,含铜金属层具有第一区及第二区;形成一光阻层于含铜金属层;图案化光阻层;形成铜凸块且各铜凸块具有一第一顶面;形成一导接层于第一顶面,该导接层具有一第二...
该专利属于颀邦科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过颀邦科技股份有限公司授权不得商用。
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