下载一种O.J二极管生产工艺的技术资料

文档序号:8191709

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本发明涉及一种O.J二极管生产工艺,其创新点在于所述步骤为:在硅片镀镍后涂覆光阻胶;在硅片的N+面光刻图形;利用硅片N+面的图形作为划片下刀参考线进行划片;对划片后的芯片台面进行酸腐蚀;去除表面的光阻胶再次镀镍;然后经焊接、碱洗、梳条以及其...
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