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本发明公开了一种能检测离子束流在聚焦情况下的束斑剖面密度分布、扫描情况下的束均匀性分布的阵列式复合型法拉第杯，包括：中心位置一个二维法拉第杯阵列(2)，两侧位置各一个一维法拉第阵列(4)。其特征在于：中心位置的二维法拉第杯阵列(2)用于检测...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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