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一种用于光刻机双工件台的三维微位移测量方法及其传感装置，属于IC制造和超精密测量及加工装备，其测量方法是霍尔微位移传感器的输出霍尔电压信号随宏、微双工件台相对位移呈线性变化，通过相互呈90°相位关系的三个霍尔微位移传感器测量三维微位移，外部...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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