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本发明公开了一种集成光子芯片的耦合方法,包括以下步骤:步骤1):制作集成光子芯片和斜8°台形光纤:通过平面加工工艺制得集成光子芯片的晶圆,然后正切割晶圆得到集成光子芯片;对普通单模光纤熔融拉锥后,对其出射端面进行研磨和抛光,制得斜8°台形光...该专利属于东南大学;南京华脉科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学;南京华脉科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种集成光子芯片的耦合方法,包括以下步骤:步骤1):制作集成光子芯片和斜8°台形光纤:通过平面加工工艺制得集成光子芯片的晶圆,然后正切割晶圆得到集成光子芯片;对普通单模光纤熔融拉锥后,对其出射端面进行研磨和抛光,制得斜8°台形光...