温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种以时间基准为参照的精密光栅制造方法，该方法提出了一种在纳米制造中以时间映射长度作为加工控制量基准的方法，利用高能束（电子束、离子束、激光束等）作为加工能量源，实现纳米级/亚纳米级精度精密光栅制造。该方法回避了传统的以长度作为...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。