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穿隧式磁阻传感器制造技术
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文档序号:8190327
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本发明提供一种穿隧式磁阻传感器,包括基板、绝缘层、电极阵列以及穿隧磁阻元件。绝缘层是配置于基板上方,并具有多个开口。电极阵列包括多个电极,且这些电极是彼此间隔地排列在绝缘层中,而各个开口分别暴露出其所对应的电极。穿隧磁阻元件则是配置在电极阵...
该专利属于宇能电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宇能电科技股份有限公司授权不得商用。
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