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减振装置、减振设备和减振系统制造方法及图纸
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文档序号:8189287
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本发明提供一种减振装置、减振设备和减振系统。所述减振装置包括:上支撑板;下支撑板,所述下支撑板与所述上支撑板平行;多个金属环,所述多个金属环连接所述上支撑板和下支撑板。所述减振设备包括:减振装置;连接板,所述减振装置固定在所述连接板上;提升...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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