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本发明公开了一种洁净室，用于存放玻璃基板，其中，该洁净室包括排风口和净化单元，该排风口设于该洁净室的底部；该净化单元设于该洁净室的顶部，该净化单元用于向该洁净室提供洁净的离子风以消除该玻璃基板表面的静电和该洁净室内的粒子。此外，本发明还公开...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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