洁净室及其净化单元制造技术

技术编号:8188914 阅读:189 留言:0更新日期:2013-01-10 00:23
本发明专利技术公开了一种洁净室,用于存放玻璃基板,其中,该洁净室包括排风口和净化单元,该排风口设于该洁净室的底部;该净化单元设于该洁净室的顶部,该净化单元用于向该洁净室提供洁净的离子风以消除该玻璃基板表面的静电和该洁净室内的粒子。此外,本发明专利技术还公开了一种净化单元。本发明专利技术公开的洁净室及其净化单元可以有效地去除洁净室内的静电和粒子,提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶面板生产制造
,特别是涉及ー种洁净室及其净化单元
技术介绍
洁净室亦称为无尘室或清浄室,洁净室最主要之作用在于控制产品(如玻璃基板)所接触之空气的洁净度及温湿度,使产品能在ー个良好之环境空间中生产、制造。在现有技术中,洁净室的清洁是通过洁净室的顶板上的风机滤器单元向洁净室内吹出洁净空气,将洁净室内的污染空气(含微尘粒子等)从排风ロ排出。然而,洁净室内通常会由于各种摩擦、感应等而存在静电,静电会吸附洁净室中的粒子,导致洁净室的粒子不易清除,此外,静电还可能对液晶模组的1C、ITO等造成击穿。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种洁净室及其净化单元,以解决现有技术中洁净室没有静电消除措施的问题。为解决上述技术问题,本专利技术采用的一个技术方案是提供一种洁净室,用于存放玻璃基板,该洁净室包括排风ロ,设于该洁净室的底部;净化单元,设于该洁净室的顶部,该净化単元用于向该洁净室提供洁净的离子风以消除该玻璃基板表面的静电和该洁净室内的粒子。根据本专利技术一优选实施例,该净化単元包括风机、过滤装置以及负离子净化器,该风机吸入空气后经由该过滤装置过滤再经由该负离本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种洁净室,用于存放玻璃基板,其特征在于,所述洁净室包括:排风口,设于所述洁净室的底部;净化单元,设于所述洁净室的顶部,所述净化单元用于向所述洁净室提供洁净的离子风以消除所述玻璃基板表面的静电和所述洁净室内的粒子。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋运芍吴俊豪林昆贤汪永强舒志优郭振华
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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