下载用射频磁控溅射法在金属托槽表面附着掺氮TiO2-xNx薄膜的方法的技术资料

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本发明涉及一种用射频磁控溅射法在金属托槽表面附着掺氮TiO2-xNx薄膜的方法。其步骤是先将金属托槽用40g/LNaOH、25g/LNaCO3、50g/LNa3PO4·12H2O和7.5g/LNa2SO3配制而成的混合液清洗,然后把托槽放入...
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