下载蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置的技术资料

文档序号:8188378

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本发明有关一种蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置。其中的蒸镀装置包含一个炉床、一个蒸镀源、一个冷却装置,及一个蒸镀隔离元件,该冷却装置装设于该炉床,该蒸镀隔离元件包括一个耐热本体、一个形成于该耐热本体顶部的顶面,及一个形成于该耐热本体...
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