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蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置制造方法及图纸
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下载蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置的技术资料
文档序号:8188378
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本发明有关一种蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置。其中的蒸镀装置包含一个炉床、一个蒸镀源、一个冷却装置,及一个蒸镀隔离元件,该冷却装置装设于该炉床,该蒸镀隔离元件包括一个耐热本体、一个形成于该耐热本体顶部的顶面,及一个形成于该耐热本体...
该专利属于隆达电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆达电子股份有限公司授权不得商用。
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