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本发明公开了一种电子级砷烷的合成和提纯方法，其特征在于，将砷化锌粉末与稀硫酸反应生成粗制的砷烷气体；将粗制的砷烷气体先通过冷凝器将气体中的液滴分离，然后通过吸附阱除去水分和二氧化碳，再置于第一液氮冷阱中，使砷烷凝固；然后将砷烷进行加热蒸发；...该专利属于上海正帆科技有限公司;合肥正帆电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海正帆科技有限公司;合肥正帆电子材料有限公司授权不得商用。