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本实用新型提供一种提高真空腔室中气体扩散均匀化的装置，包括一片或多片叠设的带有若干气体通孔的扩散件，扩散件的形状和尺寸与真空腔室空间的相应截面匹配，使得通过扩散件将真空腔室分割成两个空间，使得气体导入口与抽真空口分别置于该两个空间。本实用新...
该专利属于北京普纳森电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京普纳森电子科技有限公司授权不得商用。

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