温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种旋转位置监控系统，包括圆盘编码器、传感系统与控制电路，所述圆盘编码器固定安装于旋转组件的底部，所述传感系统从所述圆盘编码器采集信号，所述传感系统与所述控制电路连接，所述控制电路与机台端口连接，所述控制电路包括角度计算处理...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。