下载硅晶片蚀刻废水处理系统的技术资料

文档序号:8174780

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本实用新型涉及一种硅晶片蚀刻废水处理系统,所述硅晶片蚀刻废水处理系统包括:A)与工作槽相连通以接收工作槽中的蚀刻废水从而分离出固体Si和残余废液的固液分离装置;B)用于接收所述残余废液的酸再生与硅再生系统,所述酸再生与硅再生系统与所述固液分...
该专利属于库特勒自动化系统(苏州)有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过库特勒自动化系统(苏州)有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司授权不得商用。

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