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本实用新型公开了一种电环真空装置,应用于抛光装置上,包括自上而下依次设置的真空吸装置、连接装置和电环装置,所述连接装置连接所述真空吸装置和所述电环装置,所述真空吸装置用于吸附工件,所述真空吸装置设有用以给所述真空吸装置抽真空的抽真空口以及用...该专利属于广州遂联自动化设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州遂联自动化设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种电环真空装置,应用于抛光装置上,包括自上而下依次设置的真空吸装置、连接装置和电环装置,所述连接装置连接所述真空吸装置和所述电环装置,所述真空吸装置用于吸附工件,所述真空吸装置设有用以给所述真空吸装置抽真空的抽真空口以及用...