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一种独立多层叠气密片，其包括：第一承载膜（210），在第一承载膜上形成的气密性无机薄膜（220），以及在气密性无机薄膜上形成的第二承载膜（230）。可使用该多层叠片对工件（270）进行气密性密封，可以在独立于多层叠片或工件的形成步骤的步骤中...
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