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非易失性存储装置的制造方法、非易失性存储元件、及非易失性存储装置制造方法及图纸
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文档序号:8165877
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工艺较简单、能够制造具有稳定的存储性能的非易失性存储装置的制造方法包括:在基板(11)上交替地层叠含有过渡金属的多个导电层(13)和由绝缘材料构成的多个层间绝缘膜(17)而形成层叠构造体的工序;形成将上述层叠构造体贯通且使导电层(13)的一...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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