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氮化物半导体晶体管制造技术
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文档序号:8165856
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本发明提供一种氮化物半导体晶体管,该氮化物半导体晶体管具备:异质结层(124),其层叠了极化互不相同的多个氮化物半导体层;和栅电极(113),其形成在异质结层(124)之上。在异质结层与栅电极之间形成有具有p型的导电性、并使空穴电流流过且抑...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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