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本发明提供包括高温臭氧处理的制备纳米多孔超低介电薄膜的方法以及由其制备得到的纳米多孔超低介电薄膜；所述方法包括：通过混合含有有机硅酸酯基质的溶液和含有反应性致孔剂的溶液而制备混合溶液；将所述混合溶液涂覆在基底上形成薄膜；和对所述薄膜实施热处...
该专利属于西江大学校产学协力团所有，仅供学习研究参考，未经过西江大学校产学协力团授权不得商用。

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