下载压电致动器以及驱动装置的技术资料

文档序号:8165784

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提供容易判别方向、且能容易地测定电特性的压电致动器。压电致动器(20)具备压电基板(21)、第1以及第2电极(22、23)、和导电膜(24)。第1以及第2电极(22、23)对压电基板(21)施加电压。导电膜(24)形成于第1电极(22)上。...
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