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压电致动器以及驱动装置制造方法及图纸
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文档序号:8165784
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提供容易判别方向、且能容易地测定电特性的压电致动器。压电致动器(20)具备压电基板(21)、第1以及第2电极(22、23)、和导电膜(24)。第1以及第2电极(22、23)对压电基板(21)施加电压。导电膜(24)形成于第1电极(22)上。...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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