下载将特征的重复图案写到基板的技术资料

文档序号:8165781

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用于将特征(106、160)的重复图案写到诸如数据存储介质等基板(102、142)的方法(200、240)和装置(140、260)。根据一些实施例,要写入基板的不同大小(162、164、166、182、184、186、188、190、222...
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