下载光学波导光栅耦合器的技术资料

文档序号:8165593

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本发明涉及一种包含结晶无机半导体衬底(110)的设备(100)。平面光学波导核心(120)位于所述衬底上方以使得所述平面光学波导核心的第一长度直接在所述衬底上。光学散射结构(130)的规则阵列位于所述平面光学波导核心的第二长度内。腔(160...
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