【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请案一般来说涉及光学装置，且更具体来说涉及ー种光学耦合器。
技术介绍
ー些光学装置利用形成于衬底上的平面波导，例如绝缘体上硅(SOI)或InP上的InGaAsP。通常，必需将所述平面波导耦合到光纤波导以将光学信号传输到所述平面波导或从所述平面波导传输光学信号。
技术实现思路
ー个方面提供ー种包含结晶无机半导体衬底的设备。平面光学波导核心位于所述 衬底上方以使得所述平面光学波导核心的第一长度直接在所述衬底上。光学散射结构的规则阵列位于所述平面光学波导核心的第二长度内。腔位于所述衬底中所述规则阵列与所述衬底之间。另ー方面提供ー种方法。所述方法包含提供具有位于其上方的平面光学波导核心的半导体衬底。光学散射结构的规则阵列位于所述平面光学波导核心内。移除所述衬底的一部分以形成位于所述规则阵列与所述衬底的剰余部分之间的腔。又一方面提供ー种方法。所述方法包含提供结晶半导体衬底，所述结晶半导体衬底具有位于其上方的平面波导、位于平面光学波导核心内的光学散射结构的规则阵列及位于所述衬底与所述规则阵列之间的间隙。光纤波导经定位以照射所述规则阵列，以便将来自所述光纤波导的光耦合到所述平...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈龙，章力明，克里斯托弗·多尔，尼古拉斯·杜普伊斯，
申请(专利权)人：阿尔卡特朗讯，
类型：
国别省市：
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