下载光位移传感器和机械手的技术资料

文档序号:8165516

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使光位移传感器具有:金属管(114),其一端被封闭;金属管(112),其与金属管(114)具有嵌套构造的关系,可以引导金属管(114)在其长度方向上移动;光源(122)和光纤(118),它们向金属管(114)内部提供光;以及光功率计(124...
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