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光位移传感器和机械手制造技术
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文档序号:8165516
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使光位移传感器具有:金属管(114),其一端被封闭;金属管(112),其与金属管(114)具有嵌套构造的关系,可以引导金属管(114)在其长度方向上移动;光源(122)和光纤(118),它们向金属管(114)内部提供光;以及光功率计(124...
该专利属于奥林巴斯株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过奥林巴斯株式会社授权不得商用。
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