下载碳膜叠层体的技术资料

文档序号:8165219

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本发明的目的在于,解决作为以往的将铜箔用于基板中的利用热CVD的石墨烯成膜的课题的晶体尺寸小的问题,提供一种堆积了晶体尺寸更大的石墨烯而成的碳膜叠层体,通过制成如下的碳膜叠层体,即,具备具有由在原子水平下平坦的平台面和原子层台阶构成的表面的...
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