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本发明大体而言涉及互补式金属氧化物半导体(CMOS)后段(BEOL)处理中微机电系统(MEMS)悬臂式开关(cantilever?switch)的形成。所述悬臂式开关经形成为与所述结构中的下电极电气交流。所述下电极可全覆沉积并图案化或仅沉积...
该专利属于卡文迪什动力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡文迪什动力有限公司授权不得商用。

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