下载纳流控二极管及其制作方法的技术资料

文档序号:8162785

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本发明公开了一种纳流控二极管,其包括纳米管道,所述纳米管道的管壁至少部分是由PDMS材料形成,所述PDMS材料的两端不对称的修饰有带电基团。本发明还提供了该纳流控二极管的制备方法,其主要是,首先应用光刻工艺和刻蚀工艺加工形成具有该纳流控二极...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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