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各实施例披露了一种在碳域平面化过程中保护磁位的方法，包括在经布图的叠层的磁位和磁膜上沉积止蚀层；在止蚀层上沉积碳填充层；以及在碳域的平面化和回蚀过程中使用止蚀层以在碳域平面化过程中保护经布图的叠层磁位。...
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