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本发明提供了一种GaN基半导体发光二极管的制造方法,包括形成GaN衬底,以及在GaN衬底上沉积p型接触层、有源层、n型电子阻挡层、n型过渡层和n型接触层;其中形成GaN衬底的方法包括如下步骤:在常温常压下,将GaN晶片放入高温高压装置中;对...该专利属于江苏威纳德照明科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏威纳德照明科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种GaN基半导体发光二极管的制造方法,包括形成GaN衬底,以及在GaN衬底上沉积p型接触层、有源层、n型电子阻挡层、n型过渡层和n型接触层;其中形成GaN衬底的方法包括如下步骤:在常温常压下,将GaN晶片放入高温高压装置中;对...