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一种具有纳米结构的磊晶基板制作方法，包含一阻挡层形成步骤，于该磊晶基板的表面形成一由多个氧化锌纳米颗粒构成的阻挡层，一蚀刻步骤，以该阻挡层为蚀刻屏蔽，利用干式蚀刻方式蚀刻该磊晶基板未被该阻挡层遮蔽的表面，于该磊晶基板形成具有与该阻挡层的氧化...
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