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本发明公开了一种提高太阳能电池表面钝化的方法,按照如下步骤进行:A将硅片置于一定浓度酸性或碱性溶液中进行清洗制绒处理;B将制绒后的硅片置于石墨舟中,放入管式PECVD设备,进行氢离子钝化;C钝化过程中,管式PECVD不需要通入硅烷,在等离子...该专利属于浙江鸿禧光伏科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江鸿禧光伏科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种提高太阳能电池表面钝化的方法,按照如下步骤进行:A将硅片置于一定浓度酸性或碱性溶液中进行清洗制绒处理;B将制绒后的硅片置于石墨舟中,放入管式PECVD设备,进行氢离子钝化;C钝化过程中,管式PECVD不需要通入硅烷,在等离子...