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本发明公开了一种微晶硅薄膜太阳能电池的制造方法，包括：在不锈钢基板上沉积银Ag薄膜和氧化锌ZnO薄膜；在所述ZnO薄膜表面沉积掺P的负电极层；在所述负电极层表面沉积微晶硅薄膜；在此过程中掺入微量的B或Ga或In；在所述微晶硅层表面沉积掺B的...
该专利属于福建铂阳精工设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建铂阳精工设备有限公司授权不得商用。

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