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薄膜晶体管和显示装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:8162680
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本发明公开薄膜晶体管和显示装置及其制造方法。该薄膜晶体管包括:位于基板上并且通过由金属催化剂的作用引起的晶体生长而结晶的有源层;有源层的一部分上的栅极绝缘层图案;栅极绝缘层图案的一部分上的栅电极;形成在栅极绝缘层图案上以覆盖栅电极的抗刻蚀层...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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