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高电子迁移率晶体管制造技术
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文档序号:8162665
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本发明涉及微电子技术。本发明解决了现有高电子迁移率晶体管栅漏电流较大的问题,提供了一种高电子迁移率晶体管,其技术方案可概括为:高电子迁移率晶体管,包括栅极金属、源极金属、漏极金属、基底、缓冲层、沟道层及势垒层,其特征在于,所述基底上外延生长...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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