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分裂栅型MOSFET成像探测器及其操作方法技术
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文档序号:8162630
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本发明提出一种分裂栅型MOSFET成像探测器及其操作方法,分裂栅型MOSFET结构为在P型衬底正上发设有两层绝缘介质层和控制栅极,两层绝缘介质层之间设有光电子存储层;控制栅极的两侧设有选择栅极,将控制栅极所控制的衬底与探测器源极和漏极隔离开...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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