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本发明提供一种半导体装置，包括：TSV，TSV被形成为与另一个芯片电连接；以及TSV测试单元，TSV测试单元被配置成检查TSV的电容分量以产生TSV异常信号。...
该专利属于海力士半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海力士半导体有限公司授权不得商用。

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