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具有金属栅极的半导体元件及其制作方法技术
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文档序号:8162548
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本发明公开一种具有金属栅极的半导体元件的制作方法,首先提供一表面形成有一第一晶体管与一第二晶体管的基底,且该第一晶体管内形成有一第一栅极沟槽。该第一晶体管具有一第一导电型式,该第二晶体管具有一第二导电型式,且该第一导电型式与该第二导电型式相...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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