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本发明公开了一种衬底承载装置，它包括可旋转的衬底承载器，所述衬底承载器表面设有用于容置衬底的定位槽，所述定位槽槽壁包括与衬底的定位平边配合的平边结构，所述定位槽内还设有用于防止衬底定位平边的两端部与定位槽槽壁触碰的定位缓冲机构，藉此设计，本...
该专利属于光达光电设备科技(嘉兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光达光电设备科技(嘉兴)有限公司授权不得商用。

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