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提供一种基板处理设备，所述基板处理设备包括：处理室，所述处理室提供处理基板的空间；排气管，所述排气管连接至所述处理室且提供通道，气体经过所述通道从所述处理室排出到所述处理室外部；泵，所述泵安装在所述排气管上；以及阀，所述阀安装在所述处理室和...
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