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本发明公开一种用于改进基板可重用性的边缘排除剥离方法，其中采用边缘排除区域使得剥离期间与边缘相关的基板破裂最小化，其中应力施加层要么不存在（在沉积期间或者在后来的移除期间被排除），要么存在但是有效地不粘附于排除区域中的基板表面。在一个实施例...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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