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本发明公开了一种选择性掺杂区域特性的检测方法，该方法利用聚焦激光束在选择性掺杂区域及其周边区域进行扫描，同时测量每点产生的光电流，通过对比分析选择性掺杂前后光电流的变化，可以对选择性掺杂的均匀性和电阻进行表征，从而指导制备选择性发射极的工艺...
该专利属于顺德中山大学太阳能研究院所有，仅供学习研究参考，未经过顺德中山大学太阳能研究院授权不得商用。

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