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本发明提供了一种功率器件单元区和保护环区PN结的结深测量方法，包括以下步骤：把金相切片好的样品，浸泡入按照体积比HF∶HNO3∶CH3COOH＝1∶20∶5配制的单元区结染色液中6秒钟后取出；使用扫描电子显微镜对上述浸泡过的金相切片进行截面...
该专利属于上海华碧检测技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华碧检测技术有限公司授权不得商用。

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