下载IC封装凸块的制造工艺的技术资料

文档序号:8162514

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本发明公开了一种IC封装凸块的制造工艺,包括如下步骤:提供一硅片,硅片上至少形成有一铝垫及一硅片护层,在硅片上至少形成一双层凸块,双层凸块覆盖铝垫及硅片护层;在硅片上还至少形成一保护层,在保护层上至少形成一导电层;在硅片表面上至少形成一层厚...
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