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本发明涉及半导体制备技术，提供一种碳纳米管场效应晶体管其有源层的制备方法，包括如下步骤：将碳纳米管分散在有机溶剂中，然后加入高分子聚合物，在常温下搅拌至高分子聚合物完全溶解于所述有机溶剂中，形成碳纳米管与高分子聚合物的混合体系，采用电纺丝设...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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