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一种横向扩散金属氧化物半导体器件的制作方法技术
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文档序号:8162502
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本发明公开了一种横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件的制作方法,包括:制作栅极;制作体区,其中所述体区包含体区弯度,其中制作所述体区包括:在所述半导体衬底上制作阱,其中所述阱为第一掺杂类型;制作基区,其中所述基区为所述第一掺杂类型,所...
该专利属于成都芯源系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都芯源系统有限公司授权不得商用。
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