下载一种晶体硅片表面处理的方法的技术资料

文档序号:8162482

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本发明公开了一种晶体硅片的制绒方法。该制绒方法包括二个步骤:(1)对晶体硅片表面实施化学溶液各向同性腐蚀抛光处理,降低晶体硅片的表面粗糙度;(2)对晶体硅片表面实施化学溶液各向异性腐蚀制绒处理,降低晶体硅片的表面反射率。本发明制备绒面方法的...
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