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本发明公开了一种管式PECVD镀膜方法，在不增加管式PECVD机台数量的情况下，通过增加石墨舟舟片数量和改进沉积方法来提高单舟的生产能力，降低了太阳能电池的制造成本；同时本发明所述方法适合于缩小间距的窄间距石墨舟射频电场，改善等离子反应气场...
该专利属于合肥海润光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥海润光伏科技有限公司授权不得商用。

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